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超純氮氣

純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。

關鍵詞：

氮氣純度制造

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産品描述

　　産品名稱：超純氮氣 high purity nitrogen
　　分子式：N2
　　産品純度：≥99.999%
　　性質：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相積澱時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作爲置換、幹燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度爲99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氫置換。

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